آلة قص الليزر بالأشعة فوق البنفسجية التي يتم ضخها بأشباه الموصلات ، مبردة بالهواء 355 نانومتر

       آلة القطع بالليزر لجهاز الاستشعار

1.ملخص

تم تطوير وإنتاج آلة التشذيب بالليزر لشركة Wuhan Questt ASIA Technology Co.، Ltd. خصيصًا لدائرة الأغشية السميكة وصناعة الدوائر ذات الأغشية الرقيقة.يستخدم تشذيب المصدر (تعديل المقاومة) والتشذيب النشط (ضبط وظيفة الدائرة) بشكل أساسي للتشذيب عالي الدقة للدوائر المتكاملة ذات الأغشية الرقيقة والأغشية السميكة والوحدات الإلكترونية المتنوعة ، بما في ذلك الصناعات التالية:

ل إلكترونيات السيارات

l أجهزة الاستشعار

ل إلكترونيات الاتصالات السلكية واللاسلكية

ل l الصناعة العسكرية في البحث العلمي

ل الطبية

ل الإلكترونيات الصناعية

ل ل الفضاء

تم تطوير آلات التشذيب المقاومة بالليزر التي تنتجها شركتنا بشكل مستقل من نظام التحكم في القياس الأساسي ، ونظام البرامج ، وما إلى ذلك ، ولديها جميع حقوق الملكية الفكرية المستقلة ، والتي يمكن أن تزود العملاء بحلول تطبيقات شاملة للتشذيب بمقاومة الليزر.

2.نموذج المعدات والأداء

آلة التشذيب بالليزر من سلسلة LT7 عبارة عن آلة تشذيب مقاومة بالليزر من نوع التكوين المتطور تم إطلاقها بواسطة Wuhan Questt.تعتمد منتجات سلسلة LT7 ليزرًا خاصًا متقدمًا لتشذيب مقاومة الليزر.

دقة عالية لتعديل المقاومة

• تتميز الماكينة بأكملها بدقة ضبط عالية للمقاومة ، ودقة ضبط المقاومة متسقة والعائد مرتفع.
• يستخدم lLT7 ليزرًا خاصًا للتشذيب بمقاومة الليزر ، والذي يوفر شعاع ليزر بجودة شعاع عالية وعرض خط دقيق للغاية ، وتأثير حرارة الليزر صغير.
• l وضع تحكم دقيق فريد ، تكنولوجيا تعدين متغيرة السرعة مملوكة.
• مجموعة متنوعة من وظائف القطع من نوع السكين لضبط المقاومة.

تعديل سريع للمقاومة

• يحتوي البرنامج على وظيفة الضبط الخشن وإعداد الضبط الدقيق ، والذي يمكنه ضبط العلاقة التناسبية بين الضبط الخشن والتعديل الدقيق وفقًا لخصائص المقاومة ، مما يحسن بشكل فعال سرعة ضبط المقاومة تحت فرضية ضمان الدقة.
• l وقت القياس عالي السرعة ، وقت القياس الفردي هو 25 us فقط.
• آلية الخطوة والتكرار عالية الدقة: باستخدام منصة محرك خطية ، تكون سرعة الحركة والتسارع سريعًا ؛يمكنه تحقيق تعديل المقاومة لدورة واحدة لدوائر متعددة الوحدات.
• l رفع لوحة المجس عالي السرعة: تحسين كفاءة المعالجة بشكل فعال في عملية تعديل المقاومة الدورية لدوائر متعددة الوحدات.

وظيفة قوية

• مع وظيفة برمجة البرامج القوية في الصناعة ، يمكن أن تتكيف مع تعديل المقاومة وتعديل الوظيفة للوحدات الإلكترونية ، ويمكنها بسهولة إدراك الاحتياجات الخاصة للعملاء والتشغيل التلقائي العالي.
• l بالإضافة إلى المقاومة الأساسية وقياس الجهد ، مع الوحدات الخارجية الخاصة ، يمكن أن تكون إشارة القياس إشارات تيار وتردد وانعكاس وإشارات أخرى.
• ل يمكن تحقيق التحكم الآلي الآلي في طاقة الليزر ، والحركة ، ونطاق القياس ، وما إلى ذلك.
• lProbe Z- محور ، تركيز ليزر Z- محور حركة أوتوماتيكية للتحكم في المحرك ، قابل للبرمجة.
• l وظيفة قاعدة بيانات قوية ، يتم تسجيل عملية الإنتاج بأكملها وتعقبها.
• l يمكن لوظيفة التحذير للمنتجات غير المؤهلة أن تمنع بشكل فعال المنتجات غير المؤهلة من التدفق إلى العملية التالية.
• l يتم الحصول على إحداثيات تحديد المواقع في الوقت الفعلي من خلال الصورة ، وهو سهل التشغيل ويحسن دقة تحديد المواقع للمنتج.

موثوقية عالية واستقرار

• المكونات الأساسية مستوردة لضمان الجودة
• l استخدام قاعدة جرانيت خاصة: يمكن أن تقلل بشكل فعال الاهتزاز بالقصور الذاتي الناجم عن بدء وإيقاف وتسريع طاولة العمل ؛في الوقت نفسه ، يمكنه الحفاظ على استقرار درجة حرارة الماكينة.

تكاليف تشغيل وصيانة منخفضة

• كفاءة عالية واستهلاك منخفض للطاقة وتوفير التكاليف

تصل كفاءة التحويل الكهروضوئي بالليزر إلى 25٪ ، ومتوسط ​​استهلاك الطاقة اليومي أقل من 10 درجات ، وهو ما يعادل 1/10 من ليزر الحالة الصلبة الذي يضخه مصباح الفلاش التقليدي.يمكن أن يوفر الاستخدام طويل المدى للمستخدمين الكثير من إنفاق الطاقة ، ويقلل من انبعاثات الكربون ، ويطيل عمر الخدمة ، والأداء العالي المستقر ولا يحتاج إلى صيانة ، ويقلل من وقت التوقف عن العمل.

3.حل الانتهازي بالليزر

• مبدأ مقاومة الليزر للتشذيب

مبدأ التشذيب بمقاومة الليزر هو استخدام شعاع ليزر دقيق للغاية لضرب مقاومات الأغشية السميكة والرقيقة ، وتحقيق قطع دوائر الأغشية السميكة والرقيقة عن طريق تبخير جسم المقاوم.يقطع شعاع الليزر مقاومات الأغشية السميكة والرقيقة وفقًا للبرنامج المحدد مسبقًا بواسطة الكمبيوتر ، ويغير قيمة المقاومة للمقاومات عن طريق تغيير الأشكال الهندسية لمقاومات الأغشية السميكة والرقيقة.مع تقدم عملية القطع بالليزر ، تراقب دائرة القياس في الوقت الفعلي التغييرات في قيم المقاومة لمقاومات الأغشية السميكة والرقيقة في الوقت الفعلي ، وتقترب قيم المقاومة لمقاومات الأغشية السميكة والرقيقة باستمرار من قيمة المقاومة المستهدفة.وهذا يعني أن عملية التشذيب بمقاومة الليزر تتحقق.

عند استخدام المقاوم ذي الأغشية السميكة في الوحدة الإلكترونية ، يمكن تحقيق تعديل الوظيفة للوحدة الإلكترونية عن طريق ضبط تغيير المقاومة بحيث تتغير أيضًا إشارة خرج الوحدة الإلكترونية.

يعمل تقليم المقاومة بالليزر على تغيير مساحة المقطع العرضي الموصّل وطول الموصل لجسم المقاوم ، ويمكنه تقليم جسم المقاوم أقل من قيمة المقاومة المستهدفة إلى نطاق الدقة المطلوب.

رسم مخطط المعدات (يخضع للكائن الفعلي)

(1)． نظام الليزر

تستخدم لقطع المقاومات السميكة والرقيقة ، وهي عبارة عن "سكين خفيف" لقطع المقاوم.تعتمد هذه الآلة ليزرًا خاصًا متقدمًا لتعديل مقاومة الليزر ، مع جودة شعاع جيدة ، وقوة ذروة عالية وجودة شق ممتازة.صغيرة ومدمجة ، مبردة بالهواء ، ذات كفاءة وموثوقية عالية غير موجودة في أنواع الليزر الأخرى.مصدر مضخة الجهاز الأساسي ، الكريستال ، مفتاح Q ، إلخ. كلها مستوردة.

ليزر خاص للتشذيب بمقاومة الليزر

(2)．نظام تموضع شعاع الليزر

يتم استخدامه لتحقيق موضع شعاع الليزر والتحكم في مسار الحركة (مسار القطع).اعتماد نظام الجلفانومتر الدقيق.يتحكم في موضع الشعاع في الاتجاهين X و Y.تقصير وقت تموضع الشعاع ووقت التشذيب وكفاءة العمل العالية والسرعة العالية والدقة العالية.

الدقة Galvo

(3)． نظام تحديد المواقع صورة CCD

نظام تصوير مع عدسة مخصصة و CCD.تُستخدم تقنية التصوير المحوري بالليزر لضمان تداخل نقطة هدف الليزر ونقطة هدف التصوير داخل نطاق المسح بالليزر.

يتم استخدام برنامج التعرف على الصور المستوردة لتحقيق تحديد موضع الصورة تلقائيًا من خلال مطابقة الصورة.

(4)． منصة الحركة الميكانيكية خطوة وتكرار

تم اعتماد نظام المحرك الخطي الدقيق المستورد ، ويتم التحكم في مسطرة الشبكة بحلقة مغلقة.دقة الحركة عالية والسرعة عالية ، مما يحسن بشكل كبير من تسارع الحركة.يمكن أن تحقق التحميل والتفريغ المريح ، وتعديل المقاومة الدورية بسرعة عالية لدوائر متعددة الوحدات ، مما يحسن بشكل كبير من كفاءة الإنتاج.يتميز بالسرعة العالية والدقة العالية ..

(5)． نظام القياس

يعتمد قياس المقاومة طريقة نظام أربعة أسلاك بالإضافة إلى قياس التيار وقياس الجهد.يحتوي على العديد من مصادر التيار المستمر عالية الدقة ، ويمكن مطابقة النطاق المقابل لكل مقاومة تلقائيًا للحصول على أفضل دقة قياس.يستخدم قياس المقاومة عمومًا المجسات التالية تستخدم تحقيقات خاصة لحام اللوح للقياس.يمكن معايرة نظام القياس تلقائيًا بواسطة لوحة مقاومة قياسية خارجية.واجهة GPIB اختيارية للتحكم أو القياس الخارجي للأداة.

يوفر ضبط وظيفة الوحدة الإلكترونية بشكل عام طرق قياس مسبار خاصة لخصائص المنتج.

(6)． نظام التركيز بالليزر

يتم التحكم بالبعد البؤري لليزر مباشرة بواسطة الكمبيوتر.من خلال ضبط نقطة الصفر البؤري وإدخال سمك قطعة العمل ، يمكن تحقيق التركيز تلقائيًا.يمكن أن تحقق هذه الوظيفة ضبط المقاومة لأنواع مختلفة من منتجات مقاومة الأغشية السميكة ، مما يحسن نطاق التطبيق وكفاءة آلة ضبط المقاومة بالليزر.

(7)． مسبار الحركة

يتم التحكم في حركة المسبار بواسطة محرك عالي السرعة ، ويمكن ضبط مسافة التشغيل بشكل تعسفي ، ويمكن تحقيق وظيفة التحكم في البرمجة.

(8)． نظام البرمجيات

· برنامج تطبيق قوي يعتمد على منصة WINDOWS.

· مع وظيفة برمجة البرامج القوية في الصناعة ، يمكن أن تتكيف مع ضبط المقاومة المختلفة وتعديل الوظيفة للوحدات الإلكترونية ، ويمكنها بسهولة إدراك الاحتياجات الخاصة للعملاء والتشغيل التلقائي العالي.

· وظيفة قاعدة بيانات قوية ، يتم تسجيل عملية الإنتاج بأكملها وتعقبها.

· يقوم برنامج المنتجات غير المؤهلة بتغيير لونه ويسلط الضوء على الوظيفة السريعة ، والتي يمكن أن تمنع بشكل فعال المنتجات غير المؤهلة من التدفق إلى العملية التالية.

· يتم الحصول على إحداثيات تحديد المواقع في الوقت الفعلي من خلال الصورة ، وهو سهل التشغيل ويحسن دقة تحديد المواقع للمنتج.

· يمكن تحقيق منصة القياس متعددة الوظائف عن طريق البرمجة ، ولها وظيفة قياس المقاومة وفرزها.

4. التكوين الرئيسي لجهاز واحد

4.المقياس التقني

1． نظام الليزر

• الطول الموجي بالليزر: 1064 نانومتر
• متوسط ​​طاقة الليزر: 6 واط @ 10 كيلو هرتز (TEM00)
• ل حجم البقعة النموذجي: 30-40 ميكرومتر
• وضع التركيز: التحكم في برنامج الكمبيوتر

2． نظام تحديد المواقع شعاع الليزر

• نطاق المسح بالليزر: 60 مم × 60 مم
• ل كرر دقة تحديد المواقع: 2.5 ميكرومتر
• قرار حركة شعاع الليزر: 1 ميكرومتر
• l الحد الأقصى لسرعة المسح: 7000 مم / ثانية
• l طريقة تحديد المواقع: تحديد المواقع القابل للبرمجة أو تحديد المواقع تلقائيًا للتعرف على الصور

3. نظام مراقبة الصور

• l طريقة الرصد: المراقبة المحورية بالليزر
• التكنولوجيا الملائمة: تتداخل التكنولوجيا اللونية والليزر والتصوير داخل التنسيق
• l مجال الرؤية: 4-6 مم (قطري)
• مصدر الإضاءة: إضاءة LED

4. نظام القياس

• طريقة قياس المقاومة: إضافة تيار لقياس الجهد

نظام رباعي الأسلاك ، تحكم في برنامج الكمبيوتر بنظام ثنائي الأسلاك

• l وضع قياس المقاومة: إعداد وضع ثلاث سرعات ، تحكم قابل للبرمجة
• نطاق قياس المقاومة: 0.1Ω-100MΩ (دقة 16 بت)
• دقة قياس المقاومة:

0.1Ω <Rx <100Ω ± 0.02٪ + 0.5٪ / Rx

100Ω <Rx <100KΩ ± 0.02٪

100KΩ <Rx <100MΩ ± 0.02٪ + 0.05٪ * Rx

• ل سرعة قياس المقاومة: 25 ثانية
• دقة الجهد lDC: 0.16µV (تحت حالة النطاق الكامل 10mV)
• لوحة التحقيق: 48PIN ، أي تعريف ، متوافق مع المعدات المستوردة من ESI
• l حركة لوحة التحقيق: التحكم في برنامج الكمبيوتر
• نطاق قياس الجهد: ± 100mV ~ ± 10V دقة 16 بت (النطاقات الأخرى اختيارية)

5. أنظمة الحاسبات والبرمجيات

• l البرامج القابلة للبرمجة ، يمكنها تحقيق التشغيل التلقائي بمرونة ، وتلبية تعديل المقاومة وتعديل وظيفة الدائرة
• وظيفة قاعدة البيانات ، يمكن كتابة جميع بيانات تعديل المقاومة في قاعدة البيانات للتخزين ، مع إمكانية التتبع الجيدة
• ل يمكن التحكم في المقاومة عن طريق التحكم اليدوي في رقاقة واحدة ، ويمكن أيضًا ضبطها تلقائيًا عن طريق المصفوفة المستمرة (المعالجة المستمرة للرقائق)
• l يمكن إجراء ضبط دقيق للمقاومة عن طريق ضبط طريقة ضبط مقاومة نقطة الليزر
• l وفقًا لاختلاف قيمة المقاومة الأولية ، يمكن تحديد معلمات ضبط مقاومة مختلفة لإجراء ضبط المقاومة

6. نظام الحركة الميكانيكية خطوة وتكرار

• وضع الحركة: نظام حركة المحرك الخطي
• نطاق الحركة l: 300mm * 300mm
• l الحد الأقصى لحجم الركيزة الخزفية: 150 مم * 150 مم
• l دقة الحركة: 1 ميكرومتر
• ل دقة التكرار: ± 1 ميكرومتر
• ل دقة تحديد المواقع: ± 10 ميكرومتر
• ل السرعة القصوى: 1000 مم / ثانية (بدون تحميل)
• تسارع lMotion: 1.5G

7. مؤشرات فنية أخرى

• طريقة التبريد: تبريد الهواء
• l جهد إمداد الطاقة: 220V AC ضغط الهواء: <0.4MPa استهلاك الطاقة للجهاز كله: 2500W